簡介
正置顯微鏡用電動XYZ平台專門設計用於供給高精密凸轮分割器高精密凸轮分割器高分辯率和高度可重複的控制平台 X、Y 和 Z 位置。 該平台適郃於任何需求超切確 XYZ 定位的利用。 以型號FTP-2000的正置顯微鏡用電動XYZ平台爲例，壹切軸都經過過程利用採取高分辯率扭轉編碼器停止定位廻響反應的閉環直流伺服電機來完成切確控制。 FTP-2000 平台採取穿插滾柱滑軌、高精度絲杠和零背隙微型齒輪直流伺服電機，可完成平穩切確的流動。 微處理器控制的 MS-2000 控制單位供給與主機的 RS-232 和 USB 通訊。
中圖：Z軸控制器
右圖：控制器背部接口
特色（型號FTP-2000 ）
- X、Y 和 Z 軸的閉環直流伺服控制高精密凸轮分割器，可完成切確定位和高度可重複的聚焦
- XY 壟斷高精密凸轮分割器高精密凸轮分割器杆控制的寬動態速度規模
- 採取高精密凸轮分割器 LS 系列線性平台停止高精密凸轮分割器 Z 軸控制
- 背光 LCD 顯示屏顯示 X、Y 和 Z 坐標
- “歸零”和“主頁”按鈕用於複雜高精密凸轮分割器的單機操作
- 適郃高精密凸轮分割器人躰工程學的緊湊型桌麪控制單位
- 帶有 RS-232 串行和 USB 通訊高精密凸轮分割器的微處理高精密凸轮分割器器控制
型號和葠數
型號：RM-1250 Gen II （XY 主動平台）
尺度設備規格
- XY 軸行程規模数控车床刀塔 125 mm x 125 mm
- XY 軸分辯高精密凸轮分割器率（編碼器步長） 22 nm
- XY 軸 RMS 重複高精密凸轮分割器高精密凸轮分割器性 < 700 nm
- XY軸最大速度 7mm/sec
- 最大推薦昆山瑞和鑫精密机械有限公司昆山瑞和鑫精密机械有限公司負載（*可憑據請求供給更高的負載）5kg
- *爲 6.35 mm 螺距絲杠
型號：FTP-2000 （XYZ主動平台）
尺度設備規格
- XY 軸行程規模昆山瑞和鑫精密机械有限公司 120 mm x 75 mm
- XY 軸分辯高精密凸轮分割器率（編碼器步長） 22 nm
- XY 軸 RMS 重複间歇分割器性 < 700 nm
- XY軸最大速度 7mm/sec
- Z 軸分辯数控车床刀塔率（編碼器步長）5.5 nm
- Z 軸重複数控车床刀塔数控车床刀塔性 < 700 nm
- Z軸最大速度1.6毫米/秒
- 最大推薦高精密凸轮分割器負載 (*可憑據請求供給更高的負載) 10kg
- * XY 平台的質量削減高精密凸轮分割器（平日高精密凸轮分割器爲 5kg）
- *顯示爲 6.35 mm 螺距絲杠
型號：MS-2000 （XY主動平台）
尺度設備規格
- XY 軸行程規模高精密凸轮分割器 100 mm x 100 mm
- XY 軸分辯数控车床刀塔率（扭轉数控车床刀塔編碼器步距） 0.022 μm
- XY 軸 RMS 重複数控车床刀塔性 < 0.7 μm
- XY軸最大速度 7mm/sec
- *顯示爲 6.35 mm 螺距絲杠
型號：OE-1250 GEN II （XY主動平台）
尺度設備規格
- XY 軸行程規模间歇分割器 125 mm x 125 mm
- XY 軸分辯高精密凸轮分割器率（編碼器步長） 0.022 μm
- XY 軸 RMS 重複间歇分割器间歇分割器性 < 0.7 μm
- XY軸最大速度 7mm/sec
型號：MS-2000（XY主動平台）
尺度設備規格
- XY 軸行程規模昆山瑞和鑫精密机械有限公司 100 mm x 100 mm
- XY 軸分辯间歇分割器率（扭轉间歇分割器編碼器步長） 0.022 μm
- XY 軸 RMS 重複高精密凸轮分割器性 < 0.7 μm
- XY軸最大速度 7mm/sec
- 分量间歇分割器 2.27 kg
- 尺寸 (20.5 x 23 x 6.5 cm)
- *顯示爲 6.35 mm 螺距絲杠
型號：MS-4400（XY主動平台）
尺度設備規格
- XY 軸行程規模高精密凸轮分割器 120 mm x 100 mm（可以也許受顯微鏡限制）
- XY 軸分辯数控车床刀塔率（扭轉編碼器步長） 22 nm
- XY 軸 RMS 重複昆山瑞和鑫精密机械有限公司性 < 700 nm
- XY軸最大速度 7mm/sec
型號：MS-9500（XY主動平台）
尺度設備規格
- XY 軸行程規模高精密凸轮分割器 225 mm x 125 mm
- XY 軸分辯间歇分割器率 100 nm（典型间歇分割器值）
- XY 軸 RMS 重複数控车床刀塔数控车床刀塔性 < 700 nm（典型值）
- XY軸最大速度 7mm/sec
型號：PZMU-2000 （Z軸壓電平台）
尺度設備規格
- （XY 軸行程規模昆山瑞和鑫精密机械有限公司）（尺度 OEM 平台）
- Z 軸行程規模高精密凸轮分割器 (± 5%) 150 μm、300 μm、500 μm（100 μm 和 200 μm 版本可選）
- Z 軸分辯昆山瑞和鑫精密机械有限公司率 1.5 nm
- Z 軸最大速度，動搖间歇分割器工夫爲 5 mm/s（每次挪動約 10 ms）
- Z軸共振頻率（空載）> 1 KHz
- Z軸頂板最大承重500g
- Z 軸頂板剛度 (± 20%) 3 N/μm
- Z 軸頂板麪內傾斜（典型高精密凸轮分割器高精密凸轮分割器）10 μrad
- 尺寸（長 x 寬 x 高）242 x 176 x 19 mm
型號：PZU-2000 （XYZ 主動平台，帶壓電 Z 軸平台）
尺度設備規格
- XY 軸行程規模间歇分割器 120 mm x 110 mm
- XY 軸分辯高精密凸轮分割器率（編碼器步長） 0.088 μm
- XY 軸絲杠精度 0.25 μ/mm
- XY 軸 RMS 重複间歇分割器性 < 0.7 μm
- XY 軸最大速度 7 mm/sec
- Z 軸行程規模昆山瑞和鑫精密机械有限公司 100 μm（175 μm 版本可選）
- Z 軸分辯高精密凸轮分割器率 1.5 nm
- Z 軸最大速度，動搖高精密凸轮分割器高精密凸轮分割器工夫爲 5 mm/s（每次挪動約 10 ms）
- Z軸共振頻率（空載）> 1 KHz
- Z軸頂板最大承重500 g
- Z 軸頂板剛度 (± 20%) 3 N/μm
- Z 軸頂板麪內傾斜（典型高精密凸轮分割器高精密凸轮分割器）10 μrad
